60 GPa 이상 초고경도 내마모 카본나노박막 DLC, ta-C 코팅 기술은 Filtered Cathode Vacuum Arc(FCVA) 소스를 이용한 코팅공정이다. 고상의 흑연 타깃으로부터 수소함유를 원칙적으로 피할 수 있다. 여타 공정 대비…

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